[实验室概况]

东南大学半导体专业1958年筹建。1979年批准为硕士点，1985年批准为博士点，同年成立微电子中心，1998年批准为博士后流动站。1999年申报微电子机械系统（mems）教育部重点实验室，2000年通过可行性论证。mems教育部重点实验室现有教授8人，副教授13人，其中有博士学位的教师9人。

先后承担的主要课题有：
（1）气象检测mems芯片与系统，
（2）微执行器计算机辅助设计；
（3）微系统与微力学；
（4）硅片直接键合技术等国家攻关计划、高技术研究计划和国家自然科学基金等项目。

先后获得中国发明专利14项。其中硅片直接键合技术已转移到扬州晶来半导体股份公司生产。已培养博士40余名，每年可招收博士生8名、硕士生20余名。mems教育部重点实验室已成为我国mems科技研究与高级人才培养基地。

目前主要研究领域有：
（1）mems计算机辅助设计；
（2）mems集成传感器；
（3）微执行器；
（4）射频/微波mems；
（5）光mems；
（6）硅微加工技术。

与国际知名高校、尤其与跨国公司或知名合资公司合作，通过基础研究、技术创新、高新技术产业化和人才培养等方面的努力，为国家经济发展和社会发展做出更大贡献。